ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ
НА ОСНОВЕ ТУННЕЛЬНОГО ЭФФЕКТА 

Мурашкина Татьяна Ивановна, доктор технических наук, профессор, кафедра приборостроения, Пензенский государственный университет, timurashkina.pgu@mail.ru
Бростилов Сергей Александрович, аспирант, Пензенский государственный университет, ser-brostilov@yandex.ru
Бростилова Татьяна Юрьевна, начальник группы метрологического мониторинга УСК, Пензенский
государственный университет, ser-brostilov@yandex.ru 

681.586.5 

Разработана новая конструкция волоконно-оптического датчика давления на туннельном эффекте, технологический процесс сборки которого упрощен в сравнении с базовой конструкцией, в два раза уменьшены габаритные размеры. 

Ключевые слова

волоконно-оптический преобразователь, волоконно-оптический датчик, туннельный эффект, кремниевая мембрана, функция преобразования, технологический процесс, оптические волокна. 

 Скачать статью в формате PDF

1. Пат. 2253850 РФ, МПК6 G01 L 11/02, 19/04. Волоконно-оптический датчик давления / Т. И. Мурашкина, Е. А. Бадеева, А. В. Гориш, А. Г. Пивкин ; опубл. 10.06.2005, Бюл. № 16.
2. Крупкина, Т. Ю. Волоконно-оптический датчик избыточного давления отражательного типа. Описание конструкции. Принцип действия / Т. Ю. Крупкина // Надежность и качество : труды Междунар. симпозиума (2231 мая 2006 г.). Пенза : Инф.-изд. центр ПензГУ, 2006.  Т. 1.  С. 344345.
3. Мурашкина, Т. И. Волоконно-оптический датчик давления на туннельном эффекте / Т. И. Мурашкина, А. Г. Пивкин, Е. А. Бадеева, А. В. Гориш, Т. Ю. Крупкина // Датчики и системы. – 2005. – № 8.  С.1012.
4. Бусурин, В. И. Волоконно-оптические датчики: Физические основы, вопросы расчета и применения / В. И. Бусурин, Ю. Р. Носов.  М. : Энергоатомиздат, 1990.  188 с.